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産業技術史講座 産業技術史資料情報センター
11/12（土）

「半導体の微細化と露光技術の進展」

前・産業技術史資料情報センター主任調査員／高橋 一雄
　トランジスタやICなどの半導体素子は、コンピュータ以外でも、家電製品から産業用の装置にいたるまで、多くの分野で利用されています。そして、その高度な半導体の微細化技術の恩恵に浴した製品の一例は、皆さんが使っている携帯電話でしょう。その手のひらにのる大きさに多くの機能が詰め込まれていますが、これを可能にしたのが、ハードウエアとしての半導体素子の微細化技術と実装技術、そして、そのハードウエアを駆動するためのソフトウエア技術です。
　今回は、ハードウエアとしての半導体素子をとりあげ、その微細化を可能にしたプロセス技術の一つである露光技術に焦点を絞り、年々微細化の一途をたどる半導体の歴史において、露光技術がどのように進展し、それを支えるために周辺の技術がどのようにかかわってきたかについて説明します。
時間 午前10時〜午後18時30分（入場は18時まで）　※土日は休館です
会場 東京都中央区日本橋室町2-1-1　三井本館5階　産業技術史資料情報センター展示ギャラリー
対象 どなたでも
費用 無料
申込方法 申し込みは不要です